Germany – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Open call for tenders published in the EU Official Journal. Closes in 12 days.
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden u
- Buyer
- Ruhr-Universität Bochum
- Country
- Germany
- Submission deadline
- 14 Sep 2026
- Contract type
- Supplies
- Sector (CPV)
- Laboratory, optical and precision equipment
- Main CPV code
- 38000000
- Place of performance
- DEA51
- Published
- 2026-08-13
- TED reference
- 562332-2026
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