France – Microelectronic machinery and apparatus – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides
Open call for tenders published in the EU Official Journal. Closes in 9 days.
Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique. Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrure
- Buyer
- CEA Grenoble
- Country
- France
- Submission deadline
- 11 Sep 2026
- Contract type
- Supplies
- Sector (CPV)
- Electrical machinery, equipment and lighting
- Main CPV code
- 31712100
- Place of performance
- FRK24
- Published
- 2026-08-12
- TED reference
- 559414-2026
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